一、簡(jiǎn)介
平面度檢查儀是一種用于檢測平面度的精密測量?jì)x器，廣泛應用于航空航天、機械、汽車(chē)、電子、化工等各個(gè)領(lǐng)域中，是現代工業(yè)生產(chǎn)中的檢測設備之一。
平面度是指測量平面與正常方向的偏離程度，它是表征一個(gè)平面表面平整度和平面面積大小的物理量。一般來(lái)說(shuō)，平面度要求越高，制造成本就越高，因為需要采用更加精細的加工工藝和更高精度的機床設備。因此，對于一些高精度零部件的生產(chǎn)，平面度的檢測就顯得尤為重要。
二、原理
平面度檢查儀的檢測原理基于激光干涉儀測量原理。
光束從光源出發(fā)，經(jīng)過(guò)聚光透鏡在被測物體表面形成一束平行光。光波經(jīng)該光路中光學(xué)元件后形成兩股波，透過(guò)被測平面后再聚焦，光波再次干涉并聚集于檢測器上。檢測器檢測光強度差值，進(jìn)而計算出光程差和被測平面的表面形態(tài)。
三、技術(shù)指標
1、分辨率
以光束的直徑為單位，表示平面度檢查儀上顯示的數字精度。
2、重復性
重復性指同一被測物測量多次得到的結果間的接近程度。
3、線(xiàn)性度
線(xiàn)性度指檢測儀在一定的測量范圍內輸出值與被測值之間的偏差程度。
4、穩定性
穩定性表示檢測儀在不同溫度、濕度、震動(dòng)等條件下，輸出值變化的程度。
5、測量范圍
測量范圍指測量?jì)x器能夠檢測的被測平面的大小范圍。
四、應用領(lǐng)域及維護保養
1、應用領(lǐng)域
平面度檢查儀廣泛應用于航空航天、機械、汽車(chē)、電子、化工等各個(gè)領(lǐng)域中，主要用于檢測高精度零部件的平面度。
2、維護保養
?。?）平面度檢查儀不得強震或撞擊，避免造成損壞。
?。?）檢查儀器各部件的接頭、固定螺絲是否松動(dòng)或損壞，及時(shí)處理。
?。?）避免高溫、潮濕、腐蝕等情況，存放前需做好防護工作，并定期檢查儀器的存放環(huán)境。
?。?）使用前要注意校準，確保檢測精度。
?。?）使用完畢后，應將檢測儀器清潔干凈并保存在干燥、防塵的地方。
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