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測高儀是放置于平臺上進(jìn)行單軸測量的儀器，理想的擺放平臺是花崗石平臺。

根據使用的測量系統可將測高儀分為：

光柵測量系統測高儀

感柵測量系統測高儀

容柵測量系統測高儀

不同的型號配置對應不同的使用環(huán)境，在車(chē)間現場(chǎng)或計量實(shí)驗室不同的使用環(huán)境對工件進(jìn)行測量。測高儀可完成常用參數的測量工作，如高度、深度、孔徑、槽寬、軸心距、孔心距等參數，二維測高儀還可進(jìn)行平面度、平面角度、錐度的測量。通過(guò)使用相應的附件還可以進(jìn)行垂直度的測量?？商娲缈ǔ?、千分尺、角度尺等傳統測量工具，使用方式多樣的多功能測量設備。

TRIMOS測高儀的主要部件是Heidenhain金屬光柵尺，來(lái)保證測量精度。

光柵尺是由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。

光柵測量位移的原理是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱(chēng)量進(jìn)行測量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴，且制造困難。為了提高系統分辨率，需要對莫爾條紋進(jìn)行細分，光柵尺傳感器系統多采用電子細分方法。當兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線(xiàn)大致垂直的方向上就會(huì )產(chǎn)生莫爾條紋，隨著(zhù)光柵的移動(dòng)，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對光柵柵距的測量轉換為對莫爾條紋個(gè)數的測量。